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電子級水指的是電子和半導(dǎo)體工藝過程中所用的高純水，我國的國家標(biāo)準(zhǔn)《GB/T 11446.1-2013電子級水》把電子級水分為4個類別，分別為Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級和Ⅳ級。
電子行業(yè)沖洗水一般使用的都是電子級水，根據(jù)《GB/T 11446.1-2013電子級水》電子級水的技術(shù)指標(biāo)規(guī)定，電子行業(yè)沖洗水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)如下所示。
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項(xiàng)目 |
技術(shù)指標(biāo) |
||||
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EW-Ⅰ |
EW-Ⅱ |
EW-Ⅲ |
EW-Ⅳ |
||
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電阻率（25℃）/MΩ·cm |
≥18（5%時間不低于17） |
≥15（5%時間不低于13） |
≥12 |
≥0.5 |
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|
全硅/（μg/L） |
≤2 |
≤10 |
≤50 |
≤1000 |
|
|
微粒數(shù)/（個/L） |
0.05μm~0.1μm |
500 |
- |
- |
- |
|
0.1μm~0.2μm |
300 |
- |
- |
- |
|
|
0.2μm~0.3μm |
50 |
- |
- |
- |
|
|
0.3μm~0.5μm |
20 |
- |
- |
- |
|
|
＞0.5μm |
4 |
- |
- |
- |
|
|
細(xì)菌個數(shù)/（個/mL） |
≤0.01 |
≤0.1 |
≤10 |
≤100 |
|
|
銅/（μg/L） |
≤0.2 |
≤1 |
≤2 |
≤500 |
|
|
鋅/（μg/L） |
≤0.2 |
≤1 |
≤5 |
≤500 |
|
|
鎳/（μg/L） |
≤0.1 |
≤1 |
≤2 |
≤500 |
|
|
鈉/（μg/L） |
≤0.5 |
≤2 |
≤5 |
≤1000 |
|
|
鉀/（μg/L） |
≤0.5 |
≤2 |
≤5 |
≤500 |
|
|
鐵/（μg/L） |
≤0.1 |
- |
- |
- |
|
|
鉛/（μg/L） |
≤0.1 |
- |
- |
- |
|
|
氟/（μg/L） |
≤1 |
- |
- |
- |
|
|
氯/（μg/L） |
≤1 |
≤1 |
≤10 |
≤1000 |
|
|
亞硝酸根/（μg/L） |
≤1 |
- |
- |
- |
|
|
溴/（μg/L） |
≤1 |
- |
- |
- |
|
|
硝酸根/（μg/L） |
≤1 |
≤1 |
≤5 |
≤500 |
|
|
磷酸根/（μg/L） |
≤1 |
≤1 |
≤5 |
≤500 |
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